合作伙伴：浙江科技企業(yè)

儀器類型：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

品牌：安捷倫

型號(hào)：7900 ICP-MS

2026年04月20日， 圓滿交付｜安捷倫7900 ICP-MS助力浙江科技企業(yè)品質(zhì)管控，精準(zhǔn)應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體、新能源電池超痕量物質(zhì)檢測(cè)需求

全流程技術(shù)服務(wù)閉環(huán)，感謝客戶選擇譜標(biāo)科技，攜手共進(jìn)

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀安捷倫7900 ICP-MS憑借其良好的性能，已成為半導(dǎo)體和新能源電池等高科技領(lǐng)域進(jìn)行品質(zhì)管控的關(guān)鍵工具，能夠精準(zhǔn)滿足其對(duì)超痕量物質(zhì)檢測(cè)的嚴(yán)苛需求。

?? 在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用：守護(hù)芯片制造的“純凈”防線

半導(dǎo)體制造工藝極其復(fù)雜，對(duì)化學(xué)純度的要求達(dá)到了高度。即便是萬(wàn)億分之一（ppq）級(jí)別的雜質(zhì)也可能嚴(yán)重影響芯片的良率、可靠性和性能。安捷倫7900 ICP-MS在此領(lǐng)域扮演著至關(guān)重要的角色。

全流程污染控制

它能夠在半導(dǎo)體制造的各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行痕量污染物檢測(cè)，確保生產(chǎn)環(huán)境的超高純度：

原材料監(jiān)控：檢測(cè)硅錠和晶圓中的元素雜質(zhì)。

工藝化學(xué)品分析：確保清洗和表面處理過(guò)程中使用的酸類（如硝酸、氫氟suan）、溶劑和剝離液不含污染物。

工藝過(guò)程監(jiān)控：在蝕刻、沉積和光刻等關(guān)鍵步驟中，監(jiān)控光刻膠化學(xué)品和工藝氣體的純度。

應(yīng)對(duì)特殊挑戰(zhàn)的技術(shù)方案

針對(duì)半導(dǎo)體制造中的特定難題，7900 ICP-MS提供了高效的解決方案。例如，在山西某芯片廠的實(shí)踐中，通過(guò)配置專用的氬氧混合氣技術(shù)和有機(jī)進(jìn)樣系統(tǒng)，成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)N-甲基吡咯烷酮（NMP）等有機(jī)溶劑的直接進(jìn)樣分析。

技術(shù)原理：引入氧氣可以有效防止高碳有機(jī)溶劑在采樣錐口形成積碳，保證了儀器長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的穩(wěn)定性。

檢測(cè)能力：該方法可精準(zhǔn)檢測(cè)鉀、鈉、鈣、鎂、鐵、鎳、銅等多種關(guān)鍵微量元素，檢出限低至ppt級(jí)別，并能有效消除質(zhì)譜干擾，滿足SEMI C33等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)格要求。

納米顆粒分析：結(jié)合單顆粒ICP-MS（SP-ICP-MS）模式，還能同步表征化學(xué)溶液中金屬納米顆粒（如Fe、Cr、Ni）的濃度與粒徑分布，為選擇更高純度的化學(xué)品提供數(shù)據(jù)支撐。

?? 在新能源電池行業(yè)的應(yīng)用：保障電池性能與安全

隨著鋰離子電池在電動(dòng)汽車和儲(chǔ)能領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，對(duì)其性能和安全性提出了更高要求。痕量元素雜質(zhì)是影響電池壽命和安全性的關(guān)鍵因素之一。

核心材料雜質(zhì)監(jiān)控

安捷倫7900 ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀能夠?qū)︿囯x子電池的四大關(guān)鍵組成部分——正極、負(fù)極、電解質(zhì)和隔膜——及其原材料進(jìn)行精確的痕量元素分析。

正極材料：準(zhǔn)確測(cè)定鎳鈷錳（NCM）、磷酸鐵鋰（LFP）等材料中的雜質(zhì)元素（如Fe、Ca、Mg、Cu、Zn），這些雜質(zhì)會(huì)嚴(yán)重影響電池的循環(huán)性能和安全性。

電解液：驗(yàn)證了其在六氟磷酸鋰（LiPF?）、雙氟磺酰亞胺鋰（LiFSI）等復(fù)雜鋰鹽基質(zhì)中進(jìn)行多元素分析的能力。通過(guò)碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，可有效去除背景干擾，實(shí)現(xiàn)對(duì)多種痕量污染物的精準(zhǔn)定量。

超越標(biāo)準(zhǔn)方法的高靈敏度

雖然部分國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)推薦使用ICP-OES進(jìn)行污染物測(cè)定，但對(duì)于評(píng)估新型電池材料或更嚴(yán)格的質(zhì)控要求，ICP-OES的檢測(cè)限往往無(wú)法滿足。安捷倫7900 ICP-MS憑借其更高的靈敏度和更簡(jiǎn)單的譜圖，成為研發(fā)和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室的理想選擇，能夠檢測(cè)到更低水平的污染物，助力企業(yè)開發(fā)性能更優(yōu)、更安全的產(chǎn)品。

總而言之，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀安捷倫7900 ICP-MS通過(guò)其出色的基體耐受性、強(qiáng)大的干擾消除能力和超高的靈敏度，為半導(dǎo)體和新能源電池企業(yè)提供了可靠的品質(zhì)管控方案，是保障產(chǎn)品高性能和高良率的有力檢測(cè)工具。