合作伙伴：蘇州大型半導體化工企業(yè)

儀器類型：三重四極桿電感耦合等離子體質譜儀

品牌：安捷倫

型號：ICP-MS 8800

2026年3月26日，喜報｜蘇州大型半導體化工企業(yè),安捷倫三重四極桿ICP-MS 8800,安裝調試&用戶培訓圓滿完成，正式投入使用!聚焦半導體高

譜標科技以專業(yè)方案+高效交付,為半導體行業(yè)品質管控保駕護航!感謝客戶的支持與認可，攜手共筑行業(yè)高標準!

安捷倫8800三重四極桿ICP-MS（ICP-QQQ/MS）相較于上一代7800單四極桿型號，其核心優(yōu)勢在于革命性的MS/MS模式。它通過在主四極桿

（Q1）和反應池之間增加一個額外的四極桿質量過濾器，實現(xiàn)了對進入反應池離子的精準篩選，從而消除了傳統(tǒng)ICP-MS難以解決的質譜干

擾問題。這使得8800成為半導體行業(yè)檢測高純材料和制程中超痕量污染物的“金標準”儀器。

以下是其在您聚焦領域的核心檢測優(yōu)勢：

?? 核心技術優(yōu)勢：MS/MS模式實現(xiàn)“精準干擾消除”

這是8800區(qū)別于所有單四極桿ICP-MS（包括7800）的根本所在。

原理：Q1只允許目標分析物的特定質荷比離子進入反應池，而等離子體中的其他所有干擾離子（如基質離子、氬氣離子）都被擋在池外。

優(yōu)勢：在反應池內(nèi)，反應氣只需與選定的目標離子反應，反應過程高度可控、效率高，且不會產(chǎn)生新的干擾離子。而在單四極桿模式下，

反應池中所有離子都會與反應氣反應，可能生成新的干擾物（例如，用氧氣消除ArCl?對As?的干擾時，可能生成新的TiO?干擾Cu?）。

??? 半導體專用硬件配置

為了勝任高純材料檢測，8800配備了專門的進樣系統(tǒng)和耐高基體設計（如#200半導體配置選項），確保在極低濃度下也能獲得穩(wěn)定、無污染

的信號。

核心配置說明與優(yōu)勢

PFA微流霧化器流速低（如200 μL/min），樣品消耗量小，信號穩(wěn)定性高，污染風險低。

耐腐蝕進樣系統(tǒng)包括帶冷卻功能的霧化室和石英炬管，可耐受氫fu酸（HF）和有機溶劑，兼容性強。

鉑尖接口錐具有優(yōu)異的耐腐蝕性和耐磨損性，適合長時間分析高活性樣品。

?? 核心應用場景：高純材料與制程污染精準檢測

基于上述技術優(yōu)勢，8800在以下半導體關鍵檢測場景中表現(xiàn)良好：

高純制程化學品分析

樣品：超純水、IPA、NMP、PGMEA、TMAH、過氧hua氫、鹽酸、硫酸等。

檢測能力：可直接分析未經(jīng)稀釋的有機溶劑，避免稀釋帶來的污染風險。例如，在異丙醇（IPA）中，對SEMI標準規(guī)定的22種元素的檢出限

（DLs）和背景等效濃度（BECs）遠低于100 ppt的4級標準要求，許多元素甚至低于0.1 ppt。對于超純水中的鈣（Ca），背景等效濃度可低

至100 ppq（千萬億分之一）。

非金屬雜質：特別擅長檢測傳統(tǒng)方法極難測定的硫（S）、磷（P）、硅（Si）、氯（Cl） 等非金屬元素，通過質量轉移（如P?→PO?）等方法

實現(xiàn)低ppb級別的檢測。

高純硅及其基質分析

挑戰(zhàn)：硅基質在等離子體中會形成大量的多原子離子干擾（如3?SiH?干擾31P?， 2?Si1?O1?F?干擾?3Cu?），導致單四極桿ICP-MS無法準確定量。

解決方案：利用MS/MS模式，Q1排除所有非目標離子，結合合適的反應池氣體（如O?、H?、NH?），可以消除硅基干擾，準確測定磷（P）、鈦（Ti）、銅（Cu） 等關鍵雜質。

VPD晶圓表面污染分析

樣品：通過氣相分解法（VPD）收集的晶圓表面污染物溶液，其中含有高濃度的硅（Si）。

檢測能力：在高硅基體（幾到幾十ppm）存在下，依然可以準確定量晶圓表面亞pg級別的金屬污染物，確保制程潔凈度。

納米顆粒（NPs）污染監(jiān)測

樣品：制程化學品中的金屬納米顆粒（如Fe?O?、Ag、Al?O?、SiO?）。

檢測能力：可通過單顆粒ICP-MS/MS（spICP-MS）模式，在單次分析中同時測定溶解態(tài)雜質和納米顆粒的濃度、粒徑分布。例如，在IPA中可

檢測濃度低至0.1–2 ppt的25 nm Fe納米顆粒。

?? 總結：為何8800是半導體檢測的優(yōu)選

相比于7800或其他單四極桿ICP-MS，8800的核心優(yōu)勢在于解決復雜基質中的超痕量、高干擾元素的檢測難題。在半導體行業(yè)追求越來越小線寬

（如3nm及以下）的今天，對原材料和制程中金屬及非金屬雜質的控制要求已從ppt級邁向亞ppt甚至ppq級，同時還要面對高硅、有機等復雜基

質的干擾。安捷倫8800正是為此而生，其MS/MS模式帶來的強大干擾消除能力，確保了檢測結果的高準確性、高可靠性和高穩(wěn)定性，是保障芯

片良率的“火眼金睛”。